Wavevision - In-situ Präzisionsmesstechnik für die Ultrapräzisionsfertigung
Universität Kassel
Alexander Metzker, Hüseyin Serbes, Andre Stelter
Universität Kassel
Kohärenzscannende Interferometer (CSI) sind in Industrie und Forschung etablierte Messinstrumente zur berührungslosen Prüfung von Oberflächentopografien im Mikro- und Nanometerbereich. Das auch als Weißlichtinterferometrie bekannte Messverfahren zeichnet sich durch eine unübertroffene Höhenauflösung im Subnanometerbereich aus. Jedoch verursacht die hohe Auflösung auch eine hohe Sensitivität gegenüber Umgebungsvibrationen. Bereits geringste Einflüsse wie Sprachschall können den Messvorgang stören und unbrauchbare Ergebnisse erzeugen. Dies macht das in-situ Monitoring innerhalb industrieller Produktionsprozesse nahezu unmöglich. Daher werden Messobjekte mit diesen Systemen unter streng kontrollierten Bedingungen auf einem Antivibrationstisch in isolierten Umgebungen untersucht. Unsere bahnbrechende Technologie erlaubt es, schwingungskorrigierte CSI-Systeme aufzubauen: Durch eine einzigartige Kombination mit einem interferometrischen Distanzsensor werden Umgebungsschwingungen überwacht und im Anschluss an die Messung aus den CSI-Signalen eliminiert. Damit behebt unser Messgerät die Umgebungseinflüsse restlos und zeichnet sich folglich durch Vibrationsimmunität aus. Dabei hat der Kunde bei WaveVision keine Einschränkungen hinsichtlich der Auflösung zu befürchten, wodurch unser System vorbehalt- und kompromisslos ist. Die Wiederholgenauigkeit unserer Messsysteme wird durch konkurrierende Verfahren lediglich unter optimalen Bedingungen erreicht.
Damit bieten wir eine revolutionäre Lösung für die präzise in-situ Prüfung von Topografien, auch außerhalb von isolierten Messlaboren, in der Präzisionsfertigung. Die fertigungsnahe Qualitätskontrolle ermöglicht eine 100%-Qualitätskontrolle der Oberflächen-Formgenauigkeit und Maßhaltigkeit. Das dreiköpfige Team setzt sich aus Hüseyin Serbes, Andre Stelter und Alexander Metzker zusammen, welche über spezifische Kompetenzen und langjährige Expertise in den Bereichen Optik, Opto-mechanik, Software- und Elektronikentwicklung verfügen.
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